无线耦合式MPCVD制备大面积金刚石薄膜的研究

摘要：

该文研究了天线耦合式MPCVD制备金刚石薄膜的特点，考察了气体压力、甲烷浓度、输出功率及基体位置对沉积面积及沉积薄膜均匀性的影响，并成功地制备出直径为60mm～80mm的金刚石薄膜，比常用的表面波耦合MPCVD设备制备的薄膜面积扩大了一倍。

关键词： 金刚石簿膜 天线耦合式MPCVD法 高速 大面积

作者: 任英 冉均国 郑昌琼

作者单位: 联合大学无机材料系(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1008～1011

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）