微机械金刚石薄膜谐振器

摘要：

该文提出一种金刚石表面微加工技术，用掺杂的金刚石膜作结构层，多晶硅薄膜作牺牲层，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜和氢氧化钾腐蚀多晶硅，制成了梁式和叉子式金刚石薄膜谐振器。文中讨论了工艺上的问题和得到的初步结果。

关键词： 金刚石薄膜谐振器 金刚石薄膜 表面加工 微机械

作者: 杨艺榕 王效东 解健芳 任宗欣

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室 离子束开放实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 101～103

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）