水冷不锈钢型大功率微波化学气相沉积全透明金刚石薄膜研究

摘要：

该文报道了用天线耦合水冷不锈钢型MPCVD装置成功制备出大功率（3KW-4KW）连续运行，成功制备出全透明金刚石薄膜，其最大面积可达φ76.5mm。经喇曼光谱，扫描电镜，X射线衍射，红外光谱测试，表明得到的是高纯度的金刚石薄膜。

关键词： 金刚石薄膜 水冷不锈钢型MPCVD

作者: 汪建华 邬钦崇 周键 袁润章

作者单位: 武汉化工学院材料工程系 中科院等离子体物理研究所 武汉工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 163-164

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）