关键词： 金刚石薄膜 等离子体检测
作者: 马玉蓉 郭骅
作者单位: 科技大学物理系(合肥)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 143～145
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）