中间层对金刚石薄膜附着强度的改进

摘要：

综述了影响薄膜附着力的因素，通过引入中间层，增加界面的附着力和采用表面复合的新方法减少自应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度，该文还给出一些在金刚石膜沉积时采用中间层的例子。

关键词： 金刚石 中间层 附着力 表面和界面应力 表面复合

作者: 孙亦宁

作者单位: 中国空间技术研究院兰州物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年第二届表面工程国际会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 189-191

在线出版日期: 1999-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）