用ＣＨ〈，４〉＋ＣＯ〈，２〉气体ＣＶＤ金刚石的非平衡定态相图计算

摘要：

用非平稀热力学耦合模型首次获得了由ＣＨ〈，４〉＋ＣＯ〈，２〉气体化学气相淀积金刚石的相图，该相图与用经典平稀势力学得到的结果不同，相图中出一了一个金刚石的生长区，相图中的金刚石生长区是实现金刚石气相生长的热力学基础，它的存在体现了超平衡氢原子等激活粒子对石墨的激活和对金刚石的稳定作用。金刚石生长区从理 论上预言了金刚石生长合适的温度及气体组成条件，体系压力对金刚石生长区影响不大，压力减小有利于降低金刚石生长的衬底温度。

关键词： 金刚石 化学气相淀积 相图 非平衡热力学

作者: 张卫 王鹏飞 丁士进 刘志杰 张剑云 王季陶

作者单位: 大学电子工程系(上海) 大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 460～463

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）