碳氢氯体系低压ＣＶＤ金刚石生长的驱动力

摘要：

根据非平稀热力学研究了该体系金刚石相生长的驱动力，不仅从理论上解释了低压下金刚石可以连续生长的实验事实，而且从理论上解释了过多氯的添加会影响金刚石薄膜沉积质量的事实。

关键词： 金刚石 化学气相淀积 驱动力 氯

作者: 刘志杰 张卫 王鹏飞 丁士进

作者单位: 大学电子工程系CVD研究室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 464～467

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）