金刚石低压气相生长热力学模型

摘要：

激活低压金刚石新工艺中金刚石气相生长和石墨腐蚀可以同时发生的现象，给经典热力学带来困惑，无法用经典的平衡相图来给予解释。从1990年起研究人员计算了该工艺的一系列非平衡定态相图与文献上报道的大量实验事实相符。该文根据现代热力学分类系统阐明定态相图的理论基础是非平衡零耗散热力学。非平衡零耗散热力学是一个全新的热力学分支领域。

关键词： 金刚石 低压气相生长 热力学模型 相图

作者: 王季陶

作者单位: 复旦大学电子工程系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国相图学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 135～138

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）