关键词： 金刚石 薄膜 制备
作者: 金曾孙
作者单位: 大学超硬材料国家重点实验室(中国长春)
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 62～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）