一种薄膜栅形电容结露敏感元件的研制

摘要：

该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设计方法和敏感特性。

关键词： 结露 敏感元件 微加工 薄膜栅形电容

作者: 张文学 樊少兵

作者单位: 清华大学自动化系(北京) 山东佳丽日化公司(山东济宁)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国湿度与水分学术交流会暨第五届气湿敏学术交流会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 35～38

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）