角度传感器及其在纳米测试技术中的应用
目前，测量角位移的方法主要有光电自准直仪法和双频激光干涉仪法。这两种方法虽然都具有比较高的测量精度，但基本都局限于实验环境，对测量条件要求较高，且测量系统比较复杂，操作不便。因此很难适应高精度在线测量的要求。该研究利用临界角测量角度的方法所研制的光学内反射型精密角度传感器仅同由半导体激光器、两个临界角棱镜和光电变换电路等构成，具有体积小、易操作、能对微小角度进行高灵敏度测量的特长，适应在线测量的要求。
角度传感器 纳米测试技术 角位移测量 在线测量 光学差动测量方法
刘庆纲 胡小唐 叶声华 清野慧
天津大学 日本东北大学
国内会议
兰州
中文
77～80
2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）