ITO薄膜的气敏特性
该文研究了用胶体法制备的ITO薄膜的气敏特性；并同时研究了各种掺杂杂质对ITO薄膜的气敏特性的影晌。通过实验发现ITO薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度，对二氧化氮等也有较好的敏感特性。一般催化剂型掺杂物如贵金属等掺杂对提高ITO薄膜的灵敏度没有多大帮助。ITO薄膜与SnO<,2>薄膜相比具有更高的稳定性。ITO薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征，又具有体效应气敏材料的敏感特性。
胶体法 ITO薄膜 气敏特性 掺杂
张正勇
科学院合肥智能机械研究所
国内会议
成都
中文
129～133
1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）