偏压溅射技术及其应用

摘要：

该文由溅射成膜技术入手，着重介绍了偏压溅射技术的原理、优点及其应用，并从实际生产、试验出发，讨论了偏压溅射的某些特性，阐述了自己的一些想法。

关键词： 溅射 偏压溅射

作者: 王平 史秋华

作者单位: 空间无线电技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ”98全国第七届MIC电路及工艺会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 261～263

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）