基于检漏仪的扩散泵性能测试

关键词： 检漏仪 扩散泵 性能测试

作者: 张文栋

作者单位: 北京科学仪器研制中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 38-40

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）