TiO<,2>减反射膜应用于商业化单晶硅太阳电池生产

摘要：

本文介绍APCVD沉积TiO<,2>减反射膜在商业化单晶硅太阳电池生产中的应用,实验研究了TiO<,2>减反射膜对单体太阳电池片和组件的转换效率的贡献,并对表面钝化工艺进行了讨论.给出了实用的工艺流程.

关键词： 减反射膜 表面钝化 单晶硅太阳电池 二氧化钛薄膜

作者: 罗永川

作者单位: 云南半导体器件厂(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 41-43

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）