微机械热对流加速度计研究

摘要：

微机械热对流加速度计不需检验质量块,结构简单,制作工艺与IC工艺兼容,可批量制备,体积小,量程大,耐冲击.文章介绍了微机械热对流加速度计的工作原理、结构设计,制作工艺和取得的结果.测试表明:所研制的微机械热对流加速度计灵敏度为0.1v/g,分辨率可达1mg,量程>75g,工作带宽50Hz.通过改进设计和进行频率补偿,加速度计带宽可达1KHz.两轴微机械热对流加速度计已经设计出来,目前正在进行工艺制备.

关键词： 加速度计 正面体加工 微机械热对流加速度计

作者: 杨拥军 魏同立 李立杰 赵彤 赵彦军 梁春广

作者单位: 东南大学微电子中心(南京) 信息产业部电子13所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 234-236

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）