一种体加工的叉指式微机械加速度计

摘要：

该文讨论一种平面叉指式加速度计的结构设计、有限元仿真、加工工艺，着重研究了压膜阻尼的一种数学简化模型，并对叉指结构进行了数值计算。研究了摆片尺寸、极板间隙以及频率和外界环境压力对阻尼的影响。给出了在当前工艺条件下进一步优化设计、减小阻尼的方法。同时，该文给出原理样机的实验结果，已达到的性能指标。

关键词： 加速度计 有限元仿真 硅片溶解工艺 压膜阻尼

作者: 袁光 丁衡高 高钟毓 董景新 王永梁

作者单位: 清华大学(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国惯性技术学会第四届学术年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 143～147

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）