LIGA工艺叉指式微加速度计仿真分析与结构设计

摘要：

该文介绍了LIGA工艺的基本原理和用LIGA工艺加工可动微机械部件的过程。针对国内目前对于LIGA工艺的研究应用现状设计了一个平面叉指式微加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。对这种加速度的结构参数进行了计算和设计，并进行了有限元仿真。最后给出了一个尺寸的设计，大小约为2×2mm，检测质量厚400mm，分辨率为5.479×10<”-4>。

关键词： 加速度计 有限元仿真

作者: 陈常江 董景新

作者单位: 清华大学精密仪器(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会控制与应用第九届学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 452～456

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）