一种新型加速度计的研究

摘要：

该文详细介绍了一种硅／玻璃结构的加速度计，介绍了其工作原理、挠性轴的结构性能，最后介绍了它的工艺实现方法。

关键词： 加速度计 传感器

作者: 方玉明 茅盘松

作者单位: 大学微电子中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 280～281

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）