硅微加速度阵列传感器

摘要：

本文提出一种结构新颖的硅微加速度阵列传感器,它是利用硅微各向异性腐蚀工艺和常规IC工艺相结合的方法,实现将具有不同固有频率、带质量块的硅微悬臂梁阵列构成的加速度敏感元阵列与相应的信号获取电路的混合集成.文中介绍了这种传感器的结构、工作原理及关键制造技术以及相应的实验结果.

关键词： 加速度传感器 阵列传感器 各向异性腐蚀 硅微加速度阵列传感器

作者: 温志渝 吴英 蒋子平 陈刚

作者单位: 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 205-206

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）