体微机械梳状电容式加速度传感器

摘要：

本文提出了一种以玻璃为衬底的单晶硅体微机械加工梳状电容式加速度传感器结构,器件梳状叉指刻蚀采用单晶硅DRIE技术,可大大增加器件厚度,从而大幅增加器件检测电容,便于信号检测.对传感器工作原理,性能模拟计算及制作工艺流程等进行了分析,并测得传感器±1g范围内静态特性,测试结果表明传感器具有较高的灵敏度和线性度.

关键词： 加速度传感器 微机械加工

作者: 熊幸果 中科院上海冶金研究所 陆德仁 中科院上海冶金研究所 王跃林 中科院上海冶金研究所

作者单位: 传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 246-248

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）