四悬臂梁压阻式加速度计的设计与制作

摘要：

该文提出了一种压阻式加速度传感器结构。采用四梁结构，横向灵敏度比较小，灵敏度比较高，达到了14.67mv/g。是一种比较实用的传感器。

关键词： 加速度传感器 压阻 加速度 传感器

作者: 张兆华 刘理天 温明生

作者单位: 清华大学微电子学研究所 吉首大学传感器研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 171～174

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）