一种新型加速度传感器的研制

摘要：

该文介绍了一种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的高敏感性，采用检测电流的方式，较以往的测试方法具有灵敏度高、频率范围宽等特点。应用体硅加工技术和硅－－玻璃键合技术制备，文章介绍了隧道加速度计的工作原理、设计思路、及制备步骤。

关键词： 加速度传感器 扭摆式 隧道加速度计

作者: 史建伟 陈德英

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 62～65

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）