电子束福照对半导体器件性能影响的试验

摘要：

用试验的方法证明了在半导体器件制造过程中作为直写工具的电子束光刻技术其加速电压的高低一般不会影响业已做成的电路性能。

关键词： 加速电压 剂量 扫描电镜 透射电镜

作者: 黄经筒 王理明 张福安

作者单位: 科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 113～115

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）