用筒形加热器制备双面YBCO超导薄膜

摘要：

为了制备双面YiBa<,2>Cu<,3>O<,7-X>(0〈x〈1)超导薄膜，作者设计了一种筒形加热器，对基片辐射加热。采用中空柱状阴极靶直流磁控溅射法。成功的在(001)YSZ基片上均匀制备出双面YBCO超导薄膜。其性能达到Tc≥89K，Jc≥10<”6>A/cm<”2>(77K,0T)，微波表面 电阻Rs〈1m(77K，10GHz)。作者用原子力显微镜对基片衬底进行了分析。

关键词： 加热器 双面超导薄膜

作者: 王沛文 王小平 刘援 林晨光 华志强

作者单位: 北京有色金属研究总院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 10～12

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）