新型大解度背散射电子探测器的研制

关键词： 背散射电子探测 大解度电子探测器

作者: 唐圣明 陈思琴

作者单位: 院上海冶金研究所(信息功能材料国家重点实验室(上海) 院上海冶金研究所传感技术国家重点实验(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 7～8

在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）