峰值极限误差小于0.7″的高精度轴角传感器

摘要：

以计量光栅作为角度计量的高精度角度传感器，随着航天技术的发展，在航天领域得到广泛的应用。可是，当峰值极限误差小于0.7″时，其制造成本成倍增加，而且精度很难保证。该文就如何在采用常规机械轴系，光栅刻划周期不小于20″的情况下，怎样实现峰值极限误差小于0.7″的高精度轴角传感器的研究作了详细的介绍。

关键词： 计量光栅 峰值极限误差P-V值 轴角传感器

作者: 张文明 邓文和 陈先觉 段海峰

作者单位: 中国科学院光电技术研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 158～161

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）