具有SOIRESURF结构的电场分布

摘要：

本文提出了有n缓冲层SOIRESURF结构的电场分布解析模型,采用MEDICI数值仿真实验验证了上述模型的正确性.

关键词： 集成电路 横向功率器件 电场分布

作者: 方健 李肇基 刘启宇 李鸿雁 张波

作者单位: 电子科技大学微电子所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电工技术学会电力电子学会第七次全国学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 89-92

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）