关键词： 集成电路 光掩模技术 微米集成电路
作者: 罗腾蛟
作者单位: 上海杜邦光掩膜有限公司
会议类型: 国内会议
会议名称: 第二届中国IC CAD联谊会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 106-108
在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
(0)