关键词： 集成电路 无损内窥检测
作者: 胡问国 李萍
作者单位: 大学物理系 物理研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十次全国电子显微学会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 364～364
在线出版日期: 1998-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）