关键词： 集成电路 生产线 硅片 缺陷 晶体加工 硅片
作者: 邹子英 闵靖
作者单位: 市计量测试技术研究院材料分析室
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 203～206
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）