关键词： 集成电路 颗粒沾污
作者: 曾庆光
作者单位: 贝岭微电子有限公司
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 287～289
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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