ECR等离子体源中磁场梯度的影响

摘要：

用混合模型在二维位形空间和三维速度空间对电子回旋共振等离子体源中的粒子运动进行数值模拟，并着重研究磁场梯度在电子回旋共振等离了体源中所起的作用。结果显示磁场梯度增加时，电子温度、等离子体密度和离化率降低，而等离子体势和离子的能量增加。模拟中观测到一个θ方向不为零的平均速度，这是由于Ｅ×Ｂ和△ｎ〈，１〉×Ｂ漂移所引起的。

关键词： 集成电路 高频晶体管 Q值

作者: 邵福球 王龙 吴汉明

作者单位: 科学技术大学应用物理系 科学院物理研究所 科学院力学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第三届青年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 231～233

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）