激光直写中光刻胶对激光能量的吸收模型

摘要：

光刻胶对激光能量的吸收模型是激光直写中的重要模型，它是进行邻近效应计算机模拟而实现邻近校正不可缺少的重要依据。分析了影响激光束能量被光刻胶所吸收的主要因素，提出了一种光刻胶对激光能量的吸收模型。实验表明，模型能更精确地表示光刻胶吸收的激光能量密度分布的实际情况，能为激光直写邻近校正及微光学元件等光刻过程的计算机模拟提供可靠的依据。

关键词： 激光直写 亚微米 邻近效应 邻近校正

作者: 高福华 杜惊雷 姚军 张怡霄 郭永康

作者单位: 大学物理系(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 326～330

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）