高精度激光衍射测径系统

摘要：

本文介绍采用线阵CCD的激光衍射测径系统.该系统中CCD视频信号被逐位进行模/数转换,变为相应的数字量.利用最小二乘法对衍射图样进行局部曲线拟合,确定暗纹间距S.因而,衍射测径的精度不再受CCD象元中心距大小的限制.

关键词： 激光衍射测量 电荷耦合器件 最小二乘法 测量精度

作者: 张凤生 刘冲

作者单位: 青岛大学机电学院(青岛) 大连理工大学机械系(大连)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 149-150,164

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）