高阈值反射腔镜的研制

采用水中抛光技术抛制了200×200×40mm<”3>的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm。在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了波长1054nm片,入射角0°的反向膜,反射率R≥99.5℅,膜层的抗激光损伤阈值可达24J/cm<”2>(1054nm,1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达0.17λ(p-v),最终制备了符合“神光Ⅲ”设计指标的高阈值反向腔镜(cavity mirror)。
激光损伤阈值 反射波前 反射腔镜 电子束蒸发 水中抛光
付雄鹰 王建永 赵元安 顾元元
成都精密光学工程研究中心(成都)
国内会议
成都
中文
94~98
2000-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)