用硅光二极管列阵测量工件表面算术平均斜率

摘要：

用激光散射法测量工件表面粗糙度参数的优点是非接触、区域平均和快速测量等。国外一直在开展从测量表面粗糙度的光的散射技术的信息中直接得到表面粗糙度参数的反计算问题的研究。为此，作者利用美国国家标准技术研究院（ＮＩＳＴ）用于测量散射光的角分布、研究表面粗糙度的仪器（ＤＡＬＬＡＳ）通过实验研究和分析提出了用激光散射法直接测量工件表面的算术平均斜率Δａ。算术平均斜率的测量范围为０．０１＜Δａ＜０．２０。

关键词： 激光散射法 算术平均斜率 表面粗糙度

作者: 曹麟祥 曹强 刘亚南 王俊英

作者单位: 工业大学飞行器制造工程系(西安) 变压器厂 光学精密机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 586～589

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）