激光技术在微电子领域的新应用及其动向

摘要：

文章借鉴激光清洁技术、激光全息掩模以及激光冷却原子等方面最近取得的科学新成就，评述了激光技术在微电子领域的新应用及其动向。

关键词： 激光清洁技术 全息掩模 激光冷却原子

作者: 路敦武 黄惠杰

作者单位: 科学院上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 334～338

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）