微通道热沉标准单元制作的SEM观察

关键词： 激光器 微通道热沉 扫描电子显微镜 制冷单元

作者: 王晓华 张宝顺 王玉霞

作者单位: 长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 587～588

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）