激光检测系统的微尺寸测量和控制

摘要：

该文介绍激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法，该系统利用微处理器控制，由专用芯片驱动混合式步进电机控制十安型位移光学导轨，采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。

关键词： 激光检测系统 微尺寸检测 步进电机 微处理器控制

作者: 漆新民 周鞠宁 余拱信 乔树国

作者单位: 南昌航空工业学院(南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会全息专委会年会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 102～103

在线出版日期: 1999-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）