量块长度和表面形状的精确测量

摘要：

文章说明了量块测量技术中为提高干涉级次小数测量精度的相关问题，如相位偏移干涉算法的选择、压电驱动器的现场校准、面形测量、计算空气折射率的Ｅｄｌｅｎ公式的修订等。

关键词： 激光干涉仪 相位偏移干涉算法 PZT校准 平面测量 Edlen公式 量块

作者: 严家骅 朱振宇 任冬梅

作者单位: 航空工业总公司第三○四研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 404～409

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）