激光工件台三坐标误差分析与修正

摘要：

综合分析激光工件台三坐标系在电子束曝光中，对芯片在工件台上移动、定位产生的误差，并对此进行了修正。

关键词： 激光定位 测量 误差 座标修正

作者: 周健伊

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 101～103

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）