高品质激光雕刻工艺研究及应用

摘要：

概述了YAG激光雕刻系统组成、工作原理及激光雕刻工艺参数对雕刻质量的影响， 并对激光雕刻的应用作了较详细的介绍。

关键词： 激光雕刻 工艺参数 矢量扫描

作者: 叶建

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 306～310

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）