扫描式在线薄膜激光测厚仪的研制及应用

摘要：

该文介绍以激光传感技术为核心的体电一体化在线薄膜测厚仪的研制及应用，从各专业的角度分析了影响测量精度的因素并提出解决方法。为薄膜及感光材料生产行业提供先进的在线非接触式测量厚度的手段。

关键词： 激光传感 激光测厚仪 感光材料 在线测量 绝缘材料 薄膜

作者: 高松 杜新华

作者单位: 市检测技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国机械工程学会机电自动化及机器人学术交流会工厂自动化和质量控制学术交流会

会议地点: 庐山

会议语种:中文

页码: 206～211

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）