采用激光对YBCO超导薄膜局域改性的实验研究

摘要：

为了利用超导薄膜制作高性能电子器件和电路，必须发展超导薄膜的平面工艺。该文采用脉冲激光和掩膜方法进行了YBCO超导薄膜局域改性的实验研究，对改性条件等参数作了详细报道，并对改性的薄膜作了成分及超导电性的分析。最后利用微波近场显微镜对用激光局域改性方法制作的YBCO薄膜条纹器件进行了微波特性分布的分析。结果表明这是一种合适的制作高Tc超导薄膜器件的方法。

关键词： 激光 超导薄膜 局域改性 激光 超导改性

作者: 刘雷 冯一军 傅泽禄 赵恩海

作者单位: 南京大学电子科学与工程系(南京) 南京大学电子科 学与工程系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 140～144

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）