硅基平面波导材料的制作

摘要：

采用火焰水解法(FHD)在Si基上淀积SiO<,2>预制材料，然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380℃)，制得玻璃化的SiO<,2>膜材料；该材料膜厚适中(10～30μm)、平整度好、光滑透明，适合制作单模、多模列阵平面波导光栅。并利用XRD、SEM、台阶仪等仪器对SiO<,2>膜进行了测试分析。

关键词： 火焰水解法 波导 玻璃态Si O<,2>

作者: 吴远大 张乐天 邢华

作者单位: 吉林大学电子工程系光电子国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 432～435

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）