半绝缘砷化镓Hall测量中的若干问题

摘要：

建立了绝缘电阻大于10<”13>Ω和温度起伏小于0.1℃的半绝缘砷化镓Hall测量装置。研究了环境温度、湿度、漏电流、数据读取时间、测量电压、样品尺寸等因素对电阻率与迁移率的影响，并讨论了各种因素所引起的测量误差。

关键词： 半绝缘砷化镓 测量 电阻率 迁移率

作者: 李成基 李韫言 王万年 何宏家

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 325～327

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）