太阳能单晶硅生长前的化学清洗

摘要：

用中性的化学清洗剂取代硝酸/氢氟酸混合液清洗硅料.清洗原理及测试结果.

关键词： 化学清洗 统计推断 单晶硅 太阳电池 晶体生长

作者: 郝跃明 陈树铭 王云仙

作者单位: 云南半导体器件厂(昆明建设路295号)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 44-46

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）