关键词： 化学汽相沉积 金刚石 薄膜材料 金刚石膜
作者: 吕反修
作者单位: 科技大学
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年中国材料研讨会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 72～88
在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）