化学气相淀积技术和无机膜

摘要：

该文系统总结了化学气相淀积技术在无机分离膜这一新型领域中的应用和发展近况，综合报道了作者所在实验室近几年来的研究进展，并从无机分离膜的超薄化、实用化出发，列举了该领域有待进行的科学和技术基础研究课题。

关键词： 化学气相淀积 无机膜 薄膜

作者: 孟广耀 彭定坤

作者单位: 科学技术大学材料科学与工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国薄膜学术讨论会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 107～115

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）